F-101D-ABD-33-V規格BRONKHORST流量計 小型號控制閥專為普通應用環境設計的 2) 在高硫量應用領域,可選配先導閥 3) 不同的P控制閥專為高壓(差)應用高達400bar環境所設計 設備生產商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測量及控制的方案。在先前,傳統的質量流量和壓力計都需要至少1.5″空間,比如具體到在 NeSSI™ 系統中。如今,Bronkhorst通過與TNO-TPD(荷蘭的應用物理研究所)的緊密合作,開發出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質量流量傳感器。由于采用了納米技術,使其能夠減少一半的體積,達到 0.75″, 從而滿足了市場上對超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。 
質量流量控制器 (MFC)量程系列 F-200CX 1)min. 0.2 … 10 mln/min max. 0.2 … 10 mln/min系列 F-201CX 1)min. 0.22 … 11 mln/min max. 0.4 … 20 ln/min系列 F-201AX 1)min. 0.1 … 5 ln/min max. 2 … 100 ln/min系列 F-202AX 2)min. 0.2 … 10 ln/min max. 5 … 250 ln/min系列 F-203AX 2)min. 2 … 100 ln/min max. 25 … 1250 ln/min系列 F-206AX/BX 2)min. 0.4 … 20 m3n/h max. 7.5 … 375 m3n/h系列 F-230MX/ F-231MX/F-232MX 3)min. 0.2 … 10 mln/min max. 2 … 100 ln/min 根據IQ+FLOW® 系列產品的微系統技術,Bronkhorst成功開發緊湊且多功能模塊的超小流量測量產品。 |